بررسی سیستم های نانوالکترومکانیک و چالش های اساسی و تکنولوژیکی

چکیده:

NEMS معمولاً شامل ترکیبی از ترانزیستورها (الکتریکی) و سنسورها و موتورها (مکانیکی) است.به خاطر سایز بسیار کوچک انتظار می رود NEMS تاثیر زیادی بر بخش های بزرگی از علوم و تکنولوژی بگذارد و در نهایت جایگزین MEMS شود.همانطور که ریچارد فاینمن در سال 1959 در مقاله معروف خود گفت : آن پایین فضای زیادی وجود دارد، می توان هر روز دستگاه های کوچکتر و کوچکتری تولید کرد که باعث صرفه جویی در هزینه ها و بالا بردن بازدهی شود. اولین محصول NEMS نوک میکروسکوپ نیروی اتمی ساخته شده توسط IBM بود، که باعث بالا بردن حساسیت میکروسکوپ نسبت به لرزش ها، نیروها و سیگنال های شیمیایی در سطح اتمی شد.